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新物联号:上海高传电子       发布时间:2021/10/9 15:53:08       共计:296 浏览


MEMS(即微电子机械系统)有时被称为微机械,由机械和电气组件组成,它们作为一个系统共同工作,以实现智能手机、喷墨打印机、医疗设备、健身器械、家庭自动化和汽车所需的功能,列出一些商业用途。MEMS是通过一种称为微加工的工艺制造的,MEMS的尺寸可以从小于一微米(比人头发的宽度小)到几毫米不等。

 


这只是MEMS的许多商业和工业应用中的一小部分

微机电系统(MEMS)使智能手机屏幕能够从横向到纵向再向后旋转,它们可以使手机充当方向盘,让玩家在赛车电子游戏中“驾驶”绕过障碍物。得益于MEMS的优点,智能手机被用作导航、数字钱包,并通过使用指纹提供安全的方式登录手机应用程序。

医疗行业在压力传感器应用中使用MEMS,包括一次性血压监测仪、分娩期间测量宫内压力以及使用呼吸机监测患者的呼吸。

可穿戴式健身器械利用MEMS(含加速度计和陀螺仪)结合全球定位系统(GPS)计算用户的步幅和速度,并显示用户的路线。

房主们享受着MEMS技术提供的调节空气质量和温度、灯光和安全系统的便利。MEMS传感器可以编程,根据读取的结果调整空气循环和恒温器。家庭安全系统使用基于MEMS的运动传感器,在强行进入导致运动变化或异常振动时发出警报。

汽车制造商将MEMS技术应用于许多应用中,包括评估车辆碰撞以进行碰撞检测和安全气囊展开,以及轮胎压力监测系统、车辆动态控制(帮助驾驶员在车辆开始打滑时重新获得控制)、语音系统,还有车内的气候控制。


MEMS制造中的氮使用

MEMS器件的制造是在洁净室(密封、全自动环境)内的工艺室(低压、真空、温控环境)中进行的。

所有工艺/真空室、机械和洁净室必须无污染。生产过程中产生或使用的灰尘、气载微粒、气溶胶、化学蒸汽和残余气体必须从环境中除去,以保护所制造设备的完整性。

氮气(N2)是一种无色无味的惰性气体,是创造和维持MEMS制造所需无菌环境的关键成分。MEMS制造厂通常使用大量氮气对制造环境进行消毒,除去腔室和气体管线中的残余气体,并在工艺步骤之间除去工艺腔室中的杂质。


氧气分析仪保护MEMS制造的完整性

制造员工必须持续监控工艺室和洁净室中的氮气水平,以保护这些区域不受杂质的影响,这些杂质可能会损害正在生产的MEMS的质量和可靠性,并防止氮气泄漏,从而导致无菌环境失效,同样,也会损害MEMS设备的完整性。

利用高质量的氧气分析仪,MEMS制造人员可以测量工作区域的氮水平。氧气分析仪传感器应置于工艺/真空室和洁净室内,以测量和控制氧气水平。上海高传电子代理的Ntron 氧气分析仪Microx-231是一款量程为1PPM-25%vol的氧化锆氧气分析仪,寿命长达5年,精度为测量值的2%。典型应用:手套箱吹扫核泄漏检测,3D金属打印,波峰焊,气体分离,惰性烘箱等场合。

 


同时,在制造设备工作厂区,实践要求在存在气体泄漏风险的任何地方安装缺氧监控系统。因此,OXY-LC-A25-455氧化锆氧气传感器特别适合在这样的环境中使用,长达10年的使用寿命,响应速度小于4秒,储存氮气的任何地方,以及使用氮气的所有区域都可以安装这样的氧气传感器测量系统,便于安全监控。

 


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